層状物質CuFeTe2の微細加工条件の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-095

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル：層状物質CuFeTe₂の微細加工条件の検討

タイトル(英語): Study on micro-fabrication of layered material CuFeTe₂ for oxygen sensor

著者名: 神崎 雅俊(九州大学),永島 伸彦(九州大学),栗焼 久夫(九州大学),都甲 潔(九州大学)

著者名(英語): Masatoshi Kozaki(Kyushu University),Nobuhiko Nagashima(Kyushu University),Hisao Kuriyaki(Kyushu University),Kiyoshi Toko(Kyushu University)

キーワード: ガスセンサ|層状物質|インターカレーション

要約(日本語): 我々は、CuFeTe2の層間に酸素分子がインターカレーションすることで、層間が拡がり、層に垂直方向の抵抗率が増加することを原理とする酸素センサの開発を行っている。これまで90%応答時間の短縮を目的として，単結晶厚膜表面にフォトリソグラフィ技術を用いて、細孔を施す微細加工を行ってきた。その際、エッチング深さが得られていないため、酸素ガス応答において、単結晶試料に比べて大きな抵抗変化が得られないという問題点があった。今回、より大きな加工比率の微細加工を行うために、エッチング液の検討及び，遠心力を加えたエッチングを行い、各条件におけるエッチングレート及び、エッチング深さの比較を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 134 Kバイト