LSPRガスセンサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-097

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Development of the LSPR gas sensor head

著者名: 加沢 エリト(都立産業技術研究センター),紋川 亮(都立産業技術研究センター),中川 朋恵(都立産業技術研究センター),杉森 博和(都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Elito Kazawa(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Akira Monkawa(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Tomoe Nakagawa(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),hirokazu Sugimori(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)

キーワード: ナノフォトニクス|ガスセンサ|LSPR|局在表面プラズモン共鳴|電子線リソグラフィ|メソポーラスシリカ

要約(日本語): 金（Au）ナノドット基板に多孔質体を積層することで、幅広いガス濃度に応答するガスセンサを構築できるが、実環境においてはベースラインが変動してしまう。この不安定要因のひとつとして大気中の湿度変化の影響が考えられるため、センサ信号と湿度変化の関係を調べた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 236 Kバイト