MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-128

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): A Study on MEMS Accelerometers for Sub-1G Detection

著者名: 山根 大輔(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),松島 隆明(NTTアドバンステクノロジ),年吉 洋(東京大学),町田 克之(NTTアドバンステクノロジ),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): Daisuke Yamane(Tokyo Institute of Technology),Toshifumi Konishi(NTT Advanced Technology Corporation),Takaaki Matsushima(NTT Advanced Technology Corporation),Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo),Katsuyuki Machida(NTT Advanced Technology Corporation),Kazuya Masu(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: MEMS|加速度センサ|ブラウニアンノイズ|静電容量型|金

要約(日本語): This paper presents a novel microelectromechanical systems (MEMS) accelerometers for sensing sub-1G (G = 9.8 m/s²) acceleration. The accelerometer has a high-density proof mass to suppress the Brownian noise that dominates the output noise of the sensor. The low-temperature (< 400 ^oC) electroplating process enables to integrate the accelerometer on the sensing CMOS circuit; a gold (19.3×10³ kg/m³, 298 K) proof mass of 1020 μm × 1020 μm in area with the thickness of 12 μm has been found to suppress the measured noise floor to 0.78 μG/Hz^1/2 at 300 K, which is nearly one order of magnitude smaller than those of the conventional MEMS accelerometers made of silicon (2.33×10³ kg/m³, 298 K).

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 390 Kバイト