逆圧電応力による圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサの撓み制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-135

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Deflection Control of Piezoelectric Diaphragm-Type Ultrasonic Microsensors through Converse-Piezoelectric Stress

著者名: 田中 光(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Hikaru Tanaka(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|圧電体|圧電応力|ダイアフラム|撓み|感度

要約(日本語): 上向き撓みを有する高感度な圧電ダイアフラム型超音波センサにおいて，さらに感度向上が期待できるポーリングを行ったが，その際生じる応力により撓み形状が下に凸に変化し，感度が低下してしまうとこがあった。そこで今回，センシング電極の外側に設けた電極へ電圧を印加し逆圧電応力を発生させることにより，撓みの制御を試みた。その結果，印加電圧6Vで撓み方向を上向きへ戻すことができ，感度低下の抑制が可能であるということがわかった。さらに，作製の際に偶発的に生じた下向き撓みセンサへも外側電極へ電圧を印加することで，撓みを上に凸に再反転させることが出来た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 210 Kバイト