電解液の電位変動を受けた圧力センサの挙動についての解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-136

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Analysis about behavior of pressure sensor with fluctuation of electrolyte potential

著者名: 前田 光平(香川大学),前田 祐作(香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾英邦 (香川大学)

著者名(英語): Kohei Maeda(Kagawa University),Yusaku Maeda(Kagawa University),Kyohei Terao(Kagawa University),Takaaki Suzuki(Kagawa University),fusao Shimokawa(Kagawa University),Hidekuni Tkakao(Kagawa University)

キーワード: 圧力センサ|電解液|電位変動

要約(日本語): 近年，圧力センサの微小領域への実装が求められており，センサ素子が露出した状態での実装が必要とされつつある。しかし，露出した圧力センサを液中で動作した際，センサ信号に不安定性が生じていた。本研究では液中で安定的に動作する小型圧力センサを実現するため、露出した圧力センサを液中で動作した際に生じるセンサ信号の不安定性を明らかにする。我々は，液中で動作した際に生じるセンサ信号の不安定性について，電解液の電位変動が影響していると考え，解析モデルを導出した。さらに，圧力センサを用いた電解液中での電位変動実験を行い，液中動作の信号不安定性が電解液の電位変動が影響していることを明らかとした。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 299 Kバイト