3軸MEMS加速度センサの実装手法に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-139

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Research on Mounting Method of 3-axis MEMS Accelerometer

著者名: 大村 義輝(豊田中央研究所),藤吉 基弘(豊田中央研究所),明石 照久(豊田中央研究所),野々村 裕(豊田中央研究所),船橋 博文(豊田中央研究所),畑 良幸(豊田中央研究所),山田 整(トヨタ自動車),中山 貴裕(トヨタ自動車)

著者名(英語): Yoshiteru Omura(Toyora Central R&D Labs.,Inc.),Motohiro Fujiyoshi(Toyora Central R&D Labs.,Inc.),Teruhisa Akashi(Toyora Central R&D Labs.,Inc.),Yutaka Nonomura(Toyora Central R&D Labs.,Inc.),Hirofumi Funabashi(Toyora Central R&D Labs.,Inc.),Yoshiyuki Hata(Toyora Central R&D Labs.,Inc.),Hitoshi Yamada(Toyota Motor Corporation),Takahiro Nakayama(Toyota Motor Corporation)

キーワード: 加速度|センサ|自動車|シリコン|温度|精度

要約(日本語): 自動車、ロボット用途を目指した3軸加速度センサを開発している。当社のオリジナルのジグザグ電極構造による高精度なZ方向差動検知が特長である。センサの温度特性向上のため、センサ素子の実装法と零点安定性との関係を実験により求め、その要因をFEM解析により解明した。この結果、センサの零点温度変動を抑制できる実装手法に関して、知見が得られたので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 381 Kバイト