水晶振動子型水素センサの感度・応答性のための熱解析を基にした設計

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-142

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Design based on the Thermal Analysis for the Sensitivity and Time Response of the Hydrogen Sensor using Quartz Resonators

著者名: 王 永淇(早稲田大学),大井川 寛(早稲田大学),池沢 聡(早稲田大学),植田 敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Yongqi Wang(WASEDA University),Hiroshi Oigawa(WASEDA University),Satoshi Ikezawa(WASEDA University),Toshitsugu Ueda(WASEDA University)

キーワード: 水素センサ|熱解析|MEMS|水晶振動子

要約(日本語): 水素センサの感度と応答速度は，反応熱の熱量と水晶振動子の熱容量，および周囲への熱伝導によって決定される。従って，センサ素子の小型化によって熱容量を小さくし，更に支持部の断熱性を向上することが本水素センサの感度・応答性を向上させる有効な手段と考えられる。ただし，単純にセンサを小型化すると触媒の表面積も減少する，最適な設計を行うために水素センサの熱収支の解析が必要である。解析により水素センサの振動部分を薄肉化することが必要である。 熱収支解析を行った結果，新設計したセンサの感度は従来のセンサの約3.5倍に向上した，応答速度は従来のセンサの約3.8倍に向上した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 345 Kバイト