ポリマー疲労試験に向けた静電容量型振動子の作製と評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Electrostatic resonator for fatigue test of polymer material

著者名: 柴田 駿(立命館大学),天谷 諭(TOWA),杉山 進(立命館大学),安藤 妙子(立命館大学)

著者名(英語): Suguru Shibata(Ritsumeikan University),Satoshi Amaya(TOWA Corporation),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University),Taeko Ando(Ritsumeikan University)

キーワード: ポリマーMEMS|疲労試験|PMMA|ホットエンボス|櫛歯アクチュエータ

要約(日本語): 本研究ではポリマーMEMSに用いるポリマー材の疲労特性を評価することを目的に、静電容量型MEMSデバイスを作製し、その評価を行った。疲労試験デバイスとしてアクチュエータ部と試験片部を持つ構造を作製する。切欠きを持つ試験片部によって両側に櫛歯アクチュエータを持つ扇形のマスが支持されている。ホットエンボスに接合プロセスを組み合わせてデバイスを作製した。作製したデバイスは140 V、4.7 kHzの交流電圧を印加して駆動させ、1.7×10^7回後停止した。これは、疲労により試験片部に亀裂が入ったことによりデバイスの扇形部を支えられなくなり、櫛歯がうまく噛み合わないことで静電力が発生しなくなったためである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 538 Kバイト