小型モノクロメータの実現に向けた面内回転型MEMS分光デバイス

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-149

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): A Rotational MEMS Diffraction Grating for the Realization of Micro-Sized Monochromator

著者名: 篠崎 亮輔(香川大学),朝日 一平(四国総合研究所),岡 勇作(香川大学),下川 房男(香川大学),大平 文和(香川大学),二宮 英樹(四国総合研究所),高尾 英邦(香川大学)

著者名(英語): Ryosuke Shinozaki(KAGAWA University),Asahi Ippei(Shikoku Research Institute),Oka Yusaku(KAGAWA University),Shimokawa Fusao(KAGAWA University),Oohira Fumikazu(KAGAWA University),Ninomiya Hideki(Shikoku Research Institute),Takao Hidekuni(KAGAWA University)

キーワード: MEMS|SiOB|アクチュエータ|モノクロメータ|分光|回折格子

要約(日本語): 近年，モノクロメータの小型化を目的にMEMS分光デバイスの研究が行われている.従来のMEMS分光デバイスは，チップ面内に回折格子面を有するため，SiOB(Silicon Optical Bench)技術を適用する事ができず，光学系形成に専用の治具を必要とするなど，モノクロメータの小型化が困難であった．これに対し，本デバイスは面内回転アクチュエータ上に，別体で製作した回折格子を自動アライメントで垂直実装する事でチップ面外に回折格子面を形成する.これにより，SiOB技術を集積したMEMS分光デバイスが構築でき，モノクロメータの小型化が可能となる.これまで我々は，面内回転アクチュエータを用いたミラーデバイスを実現した.今回，小型モノクロメータの実現に向けて，面内回転アクチュエータ上への回折格子の実装と分光特性評価を行なったので報告する.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 435 Kバイト