アルカリイオンエレクトレットを用いた低消費電力MEMSスキャナーの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-150

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Development of Low Power Consumption MEMS Scanner by Alkali Ion Electret

著者名: 杉山 達彦(静岡大学),青山 満(静岡大学),芝田 泰(静岡大学),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Tatsuhiko Sugiyama(Shizuoka University),Mitsuru Aoyama(Shizuoka University),Yasushi Shibata(Shizuoka University),Gen Hashiguchi(Shizuoka University)

キーワード: MEMSミラー|エレクトレット

要約(日本語): 静電駆動型MEMSスキャナーは小型化や製造コストの点で優れているが、バイアス電圧が必要なことから比較的消費電力の大きいことが弱点である。しかし、駆動用電極にエレクトレットを形成して電界を発生させることによりバイアス電圧は不要となり、低消費電力MEMSスキャナーを実現できる。静電駆動型MEMSスキャナーを作製後、駆動用櫛歯電極表面にアルカリイオンエレクトレットを形成した。バイアス電圧を印加しない状態で交流電圧を印加して共振することを確認した。共振周波数において交流駆動電圧 9 Vpp で掃引角度12? を得られ、この時の消費電力は0.57 ?Wであった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 604 Kバイト