電磁型エナジーハーベスタのための交互多極磁化マイクロ磁石アレイの試作

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-158

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Alternately-poled micro magnet allay for electromagnetic energy harvester

著者名: 小峠 竜也(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),田中 祐至(兵庫県立大学),山口 晃平(兵庫県立大学),園田 晃司(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Tatsuya Kotoge(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yuji Tanaka(University of Hyogo),Kohei Yamaguchi(University of Hyogo),Koji Sonoda(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: 交互多極磁化|マイクロ磁石アレイ|エナジーハーベスタ|NdFeB|スパッタ

要約(日本語): 本研究室では，バルク焼結磁石にも匹敵する薄膜磁石をNdFeB/Taの多層膜をスパッタリングによって成膜し，微細加工されたシリコン構造体に埋め込み，研磨する技術を確立することで，一般的に困難とされている磁性体の微細加工を実現している．その応用例としてMEMS電磁型エナジーハーベスタの作製に成功している。今回，薄膜磁石の磁極に着目し，磁極を交互に配列した薄膜磁石の設計，試作を行った。単一方向に磁極を配置した薄膜磁石と比較し，交互配列によって約2.8倍の磁束密度の変化量を得ることが可能になり，エナジーハーベスタの出力向上の可能性を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 406 Kバイト