熱酸化による残留応力を利用した振動型発電用シリコン座屈両持ち梁

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-160

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Buckling clamped-clamped beam made by residual stress of silicon thermal oxidation for vibratory energy harvester

著者名: 山本 弘貴(兵庫県立大学),園田 晃司(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Koki Yamamoto(University of hyogo),Koji Sonoda(University of hyogo),Takayuki Fujita(University of hyogo),Kensuke Kanda(University of hyogo),Kazusuke Maenaka(University of hyogo)

キーワード: 振動発電|座屈バネ|熱酸化|広帯域化|エナジーハーベスタ|両持ち梁

要約(日本語): 近年、様々な振動から電力を取り出す振動型エナジーハーベスティング技術が注目されている。MEMS技術によって作製される振動型エナジーハーベスタは非常に高いQ値を持つため、非常に狭い周波数帯域でのみ振幅倍増効果による振動振幅が得られるのが特徴である。よって、振動周波数が安定しないような発電対象では十分な能力が発揮できない。このため広い共振範囲を持つ振動体が求められている。本稿では広帯域振動構造のひとつとして注目される座屈両持ち梁構造を、シリコンの熱酸化応力を利用して作製する手法を提案し、その初期実験結果を報告する。試作結果、座屈ひずみの発生を確認し、熱酸化膜長さによってひずみ量が制御できる可能性を示した

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 736 Kバイト