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低周波近接場音響放射圧を用いた基板位置変化の抑圧機構の検討

低周波近接場音響放射圧を用いた基板位置変化の抑圧機構の検討

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-165

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

タイトル(英語): Study on substrate displacement suppression mechanism using low-frequency near-field acoustic pressure

著者名: 橋爪滋郎 (日立製作所 日立研究所),青野 宇紀(日立製作所 日立研究所),友常仁之 (日立製作所 日立研究所)

著者名(英語): Jiro Hashizume(Department of Robotics Research),Takanori Aono(Department of Robotics Research),Tomoyuki Tomotsune(Department of Robotics Research)

キーワード: 超音波|ディスク|制御

要約(日本語): 光ディスクや磁気ディスク記録技術では、記録媒体であるディスクの反りや振動等による高さ変動が大きいと、ディスクの高さ変動に追従サーボ特性の抑圧限界を超える可能性が高くなる。本研究では、ディスクの高さ変動をディスク上下面からの超音波で抑圧する機構を提案した。また、この機構を実現するため、1kHz以下の低い周波数領域で振動する振動板が平板に及ぼす音響放射圧を明らかにするとともに、音響放射圧で平板の位置変化を抑圧する機構を実験的に検証した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 300 Kバイト

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