スパッタリングと水熱合成を用いた圧電デバイス用高密度PZT薄膜の創製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S29-2

グループ名: 【全国大会】平成26年電気学会全国大会論文集

発行日: 2014/03/05

著者名: 池永訓昭 (金沢工業大学),長谷川晶宏 (金沢工業大学),作道訓之 (金沢工業大学),神田岳文 (岡山大学)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 781 Kバイト