紫外線によるVol%台のオゾン生成とその特徴

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-069

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Generation of vol% levels ozone by ultraviolet rays

著者名: 内藤 敬祐(ウシオ電機),菱沼 宣是(ウシオ電機)

著者名(英語): Keisuke Naito(USHIO INC.),Nobuyuki Hishinuma(USHIO INC.)

キーワード: オゾン|紫外線

要約(日本語): 従来1vol%を超える高濃度オゾンを生成する方法は乾燥空気または酸素発生器で生成した酸素を無声放電により生成する方法が主である。しかし、放電による方法では副生成物として窒素酸化物が発生する。窒素酸化物を生成しない方法として紫外線による方法があるが、従来用いられる低圧水銀灯を用いた方法ではオゾンの生成効率が悪く0.06vol%程度が限界とされている。我々は紫外線源としてXeエキシマランプを使用することで乾燥空気から1.4vol%の濃度のオゾンを連続的に生成することに成功した。また、このオゾンには無声放電から得られるオゾンに含まれるようなNOxが含まれていないということを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 216 Kバイト