軽水素フリー重水素/炭素混合プラズマへの窒素添加による水素化炭素膜成長の抑制

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-079

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Suppression of Hydrogenated Carbon Film Growth in the Deuterium and Carbon Mixed Hydrogen-Free Plasma by Nitrogen Addition

著者名: 加藤 拓郎(金沢大学),飯田 和也(金沢大学),野谷 昌弘(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),田中 康規(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Takuro Kato(Kanazawa University),Kazuya Iida(Kanazawa University),Masahiro Notani(Kanazawa University),Yosihiko Uesugi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tatuo Ishijima(Kanazawa University)

キーワード: 核融合

要約(日本語): これまでの実験でH₂/CH₄プラズマに窒素を添加すると、炭素膜堆積成長が強く抑制されることを確認している。今回は、炭素不純物としてC₆D₆を用いて軽水素フリーな重水素/炭素混合プラズマを生成し、窒素添加の有無で膜堆積成長速度の温度依存性を調べた。結果として窒素添加することで堆積膜成長の強い抑制を確認した。分光観測および質量分析の結果から窒素を添加することで結合エネルギーの高いC≡Nの3重結合を有するCNやDCNの揮発性粒子の生成を確認した。これより、壁の表面ではC_xD_y系の粒子の堆積と同時に、窒素との結合によりCNやDCNの揮発性粒子が生成され堆積膜から脱離することで堆積膜の成長を抑制していると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 412 Kバイト