Si製スロットアンテナによるマイクロ波励起水中気泡プラズマの基礎特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-081

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Fundamental properties of microwave excited bubble plasma using Si slot antenna

著者名: 北野 卓也(金沢大学),伊藤 卓也(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),西山 聖(大阪市立大学),堀邉 英夫(大阪市立大学)

著者名(英語): Takuya Kitano(Kanazawa University),Takuya Ito(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Takashi Nishiyama(Osaka City University),Hideo Horibe(Osaka City University)

キーワード: プラズマ|アッシング|半導体デバイス製造プロセス|レジスト膜除去

要約(日本語): 薬液を用いない環境に負荷の小さいマイクロ波励起水中気泡プラズマを用いた，低環境負荷のレジスト膜除去方式の実プロセスへの適用に向け，アンテナ材料として半導体(Si)を用いたプラズマ生成を試み，基礎特性を調査した。結果として，Si製スロットアンテナを用いた場合においても，低温プロセスおよびレジスト膜除去を実現した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 841 Kバイト