有機薄膜に対するレーザ加工とプラズマの関連付け

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-082

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Experimental Relation between Laser Processing and Ablation Plasma for Organic thin film

著者名: 小野 秀介(愛知工業大学),牧野 佑紀(愛知工業大学),津田 紀生(愛知工業大学),山田 諄(愛知工業大学),落合 鎮康(愛知工業大学)

著者名(英語): Shusuke Ono(Aichi Institute of Technology),Yuki Makino(Aichi Institute of Technology),Norio Tsuda(Aichi Institute of Technology),Jun Yamada(Aichi Institute of Technology),Shizuyasu Ochiai(Aichi Institute of Technology)

キーワード: フェムト秒レーザ加工|有機薄膜太陽電池|アブレーションプラズマ|プラズマ時間分解分光計測

要約(日本語): 有機薄膜太陽電池の実用化のためにデバイスの集積度を高める事ができるレーザパターニング加工技術は必要である．大量生産を行う際には加工に対するモニタリング技術が必要になることが考えられる．診断にプラズマ分光計測法を導入することで加工を乱さず，複雑な計算処理を必要としないモニタリングを行うことができる．このようなプラズマを用いたモニタリング技術の構築という目的のもと，有機薄膜に対してのレーザフルエンスに関する加工面積と加工深さをプラズマ温度や密度と実験的に関連付けた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 310 Kバイト