大電力誘導熱プラズマの単結晶ダイヤモンド成長への応用試験

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-085

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Trial Application of High-Power Induction Thermal Plasmas to Monocrystalline Diamond Growth

著者名: 福澤 未夢(金沢大学),堀田 宗佑(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学)

著者名(英語): Miyu Fukuzawa|Sosuke Horita|Yasunori Tanaka|Yoshihiko Uesugi|Tatsuo ishijima

要約(日本語): 誘導熱プラズマを単結晶ダイヤモンド基板に照射することで、ダイヤモンドの成長実験をおこなった。使用ガスはAr:CH4:H2=65:0.03:3 slpm、照射時間3 時間、基板表面温度が約930 ℃になるように入力電力を調節し、熱プラズマを照射した。電力の変調波形は無変調および矩形波である。3時間照射後の単結晶ダイヤモンド基板の光学顕微鏡画像から、電力無変調の場合は一様に成長しているように見える。しかし、矩形波に変調させた場合は粒子が生成しており、表面は凸凹している。膜厚をレーザー顕微鏡で測定すると、無変調時では6.98 ?m、矩形波変調時では2.33 ?mと測定された。いずれの条件においても膜厚は徐々に増加していることが確認できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,014 Kバイト