容量結合型非平衡大気圧He/N2プラズマの軸対称３次元流体モデリング

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-089

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル：容量結合型非平衡大気圧He/N₂プラズマの軸対称３次元流体モデリング

タイトル(英語): Axially Symmetric Three Dimensional Fluid Modeling of Capacitively-Coupled Non-Equilibrium Atmospheric Pressure He/N₂ Plasmas

著者名: 小森 郷平(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Kyohei Komori(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 非平衡大気圧プラズマ|ヘリウム|窒素|流体モデル|シミュレーション

要約(日本語): 非平衡大気圧プラズマは、真空装置が不要となるためにコストの削減や高密度なプラズマの生成が可能であり、効率的なラジカル生成に有用である。そのため、排ガスや水処理などの環境分野や材料プロセス、バイオ・医療分野等、幅広い分野において技術開発が盛んである。その際、本プラズマ生成用のガスは、ガスボンベや配管を通じて供給されるため、必ず不純ガスが混入する。本報告では、不純ガスとして窒素ガスを仮定した上で、軸対称３次元流体モデルに基づく計算機シミュレーションにより、窒素ガスを少量含んだヘリウムガス中での大気圧プラズマ特性の解析を行ったので、その結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 380 Kバイト