マイクロプラズマアクチュエータ型電極による導電性微粒子制御の基礎検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-090

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Basic study of controlling conductive fine particles by the atmospheric microplasma actuator

著者名: 伊藤 暁彦(静岡大学),水野 良典(静岡大学),ブラジャン マリウス(静岡大学),米田 仁紀(電気通信大学),清水 一男(静岡大学)

著者名(英語): Ito Akihiko(Shizuoka University),Mizuno Yoshinori(Shizuoka University),Blajan Marius(Shizuoka University),Hitoki Yoneda(The University of Electro-Communications),Kazuo Shimizu(Shizuoka University)

キーワード: 微粒子制御|誘電体バリア放電|マイクロプラズマ|導電性微粒子

要約(日本語): 微粒子制御は，粒子の構造・組成制御や流動制御，微粒子合成をはじめ半導体製造や室内環境でも注目されている．プラズマを用いたものでは，気相反応による微粒子生成や電気集塵などが挙げられる．本研究では，マイクロプラズマアクチュエータ型電極を用いて，従来の誘電体微粒子と振る舞いが大きく異なると考えられる導電率の大きいCu微粒子の振る舞いを観測し，電極表面近傍でのCu微粒子の帯電および作用する力やその運動について検討を行った結果，Cu微粒子の飛散する様子が可視化により確認された．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 399 Kバイト