O2混合ループ型Ar誘導熱プラズマの基板上での長尺一様生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-095

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル：O₂混合ループ型Ar誘導熱プラズマの基板上での長尺一様生成

タイトル(英語): Uniform Formation of Ar/O₂ Loop Type of Induction Thermal Plasmas on the Substrate

著者名: 丸山 裕司(金沢大学),入江 寛光(金沢大学),Suan Tail Mai Kai(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(シー・ヴィ・リサーチ)

著者名(英語): Yuji Maruyama(Kanazawa University),Hiromitsu Irie(Kanazawa University),Suan Tail Mai Kai(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto(CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura(CV Research Corporation)

キーワード: 誘導熱プラズマ|酸化|発光スペクトル

要約(日本語): 筆者らは熱プラズマによる大面積処理を目指し，「ループ型誘導熱プラズマトーチ」を開発した。この「ループ型誘導熱プラズマトーチ」において，ループ管内でAr誘導熱プラズマを点弧でき，極めて安定維持できることを確認できている。本報告ではSi基板の酸化処理を目的として，Ar誘導熱プラズマにO₂を導入した場合について，熱プラズマの発光を測定した。その結果，基板上にほぼ一様なAr/O₂誘導熱プラズマが生成できることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,094 Kバイト