マイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊特性に対する電極形状の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-124

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Influence of Electrode Shape on Breakdown Characteristics across Micrometer-scale Surface Gap

著者名: 岡野 俊紀(東京大学),岩淵 大行(東京大学),松岡 成居(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),日高 邦彦(東京大学)

著者名(英語): Okano Toshiki(The University of Tokyo),Iwabuchi Hiroyuki(The University of Tokyo),Shigeyasu Matsuoka(The University of Tokyo),Akiko Kumada(The University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(The University of Tokyo)

キーワード: 放電|絶縁破壊|マイクロスケール|沿面放電|SOウェハ|MEMS

要約(日本語): 近年、微細加工技術の発達により、機器を構成するデバイスは年々縮小化している。機器のサイズが小さくなると共に、機器の絶縁破壊電圧は低くなる。しかし、マイクロスケール以下の放電現象は未解明の部分が多く残されている。本研究では、マイクロ沿面ギャップ間の放電において、電極上面からの電子放出が重要な役割を果たすと考え、電子放出部の面積効果を検証すべく、電極の面積を変化させたサンプルを用いて絶縁破壊特性の測定を行った。実験の結果、すべての形状について、ギャップ長が変わったことによる放電電圧の大きな変化は見られない。よってマイクロギャップの破壊電圧は電極形状に依存せず、電子の放出源である陰極の電界で決まると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 447 Kバイト