短パルス電圧によって生成された狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-141

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Generation of Narrow-gap Non-equilibrium Plasma at Atmospheric Pressure by Short-pulse Voltage

著者名: 中野 俊樹(防衛大学校),北嶋 武(防衛大学校)

著者名(英語): Tosahiki Nakano(National Defense Academy),Takeshi Kitajima(National Defense Academy)

キーワード: 短パルス電圧|大気圧プラズマ|狭ギャップ

要約(日本語): 250 ns短パルス方形波電圧を周波数10 kHzで狭ギャップ（30 μm）電極系に印加して大気圧非平衡放電プラズマを生成した。放電電圧・電流の測定から、放電はパルス電圧の立ち上がり直後に生じていることを確認した。N₂の発光スペクトルから、ガス温度は電圧パルス幅の短縮によって低下し、プラズマの非平衡性の向上には短パルス化が有効であることわかった。本研究の装置でHeプラズマを生成してポリエチレンテレフタレート（PET）に照射したところ、未照射のPETに比べてOに関する結合が導入されていることが確認され、本プラズマを高分子の表面処理へ適用できることがわかった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 387 Kバイト