対向発散磁界下誘導結合水素プラズマの解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-166

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Analysis of an Inductively Coupled Hydrogen Plasma under Confronting Divergent Magnetic Fields

著者名: 菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語): Hirotake Sugawara(Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合型プラズマ|対向発散磁界|フィルタ効果|電子運動|モンテカルロ法|電子空間分布

要約(日本語): 誘導結合型プラズマに印加される対向発散磁界の効果を解析するため，水素中モデル電磁界下の電子運動をモンテカルロ法により模擬した。２つの同軸直流コイルで作る対向発散磁界には，各コイルに鎖交する磁力線が背き合う分界面を境にプラズマ特性が変わるフィルタ効果が見られる。フィルタ効果検討の一環として本解析では，電子空間分布や平均電子エネルギー分布などを求めた。両者の積，電子エネルギー密度分布はプラズマ発光と相関を持つと考えられ，そのピーク位置，分界面での急減，下流領域への広がり方といった特徴が実験で観察された発光強度分布と共通していた。対向発散磁界下のプラズマの概形が再現されたものと考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 267 Kバイト