窒素雰囲気中コロナ放電型イオナイザの除電特性に及ぼす負性ガスの効果

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-177

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Effect of the Electronegative Gas on Neutralization Characteristics of a Corona-Discharge-Type Ionizer in Nitrogen Atmosphere

著者名: 根本 大輔(茨城大学),賀 婉?(茨城大学),松尾 武(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),岡野 一雄(職業能力開発総合大学校)

著者名(英語): Daisuke Nemoto(Ibaraki University),Wanting He(Ibaraki University),Takeshi Matsuo(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Kazuo Okano(Polytechnic University)

キーワード: 静電気学|コロナ放電|イオナイザ|除電|負性ガス

要約(日本語): 電子デバイス製造工程の静電気対策として，コロナ放電型イオナイザが広く利用されている．また，有機ELなどの製造工程の作業雰囲気は，窒素のような不活性ガスである．しかし，酸素は電子親和力を持つため負イオンとなるが，窒素は電子親和力を持たず，負イオンを形成しない．したがって，空気中では電荷キャリアが正負ともにイオンとなり，正負のイオンバランスが整うが，窒素雰囲気では正イオンと電子となり，易動度が大きく異なるため正負のイオンバランスが崩れる．イオンバランス維持には負性ガスが必要であり，本研究ではN₂-O₂，N₂-SF₆混合ガス中における除電特性を，負性ガスの分圧比を変化させながら調査した．その結果，SF₆は酸素の1/1000以下の量で空気中と同等の優れた除電特性を達成できることが分かった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 730 Kバイト