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空間電荷分布の音響特性を考慮した補正

空間電荷分布の音響特性を考慮した補正

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-036

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Signal Recovery for Space Charge Distribution Using Acoustic property

著者名: 杉山 拓馬(豊橋技術科学大学),村上 義信(豊橋技術科学大学),加藤 広衣(豊橋技術科学大学),川島 朋宏(豊橋技術科学大学),福間 真澄(松江工業高等専門学校),小竹 慎也(日東電工),長尾 雅行(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takuma Sugiyama(Toyohashi University of Technology),Yoshinobu Murakami(Toyohashi University of Technology),Hiroi Kato(Toyohashi University of Technology),Tomohiro Kawashima(Toyohashi University of Technology),Masumi Fukuma(Matsue College of Technology),Shinya Kotake(Nittodennko Corporation),Masayuki Nagao(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 空間電荷|音響インピーダンス|パルス静電応力法|EVA

要約(日本語): 空間電荷分布測定技術の一つであるパルス静電応力(PEA)法において圧力波の減衰や分散を考慮した空間電荷分布の補正処理方法が提案されている。しかし、一般にこれらの補正方法においては半導電電極と試料の音響インピーダンスは一致しているものと仮定されており、更に正確な補正を実施するためには実際の測定系におけるその音響特性を考慮する必要がある。本報告では、試料側からみた半導電電極の見かけ上の音響インピーダンスを用いて、空間電荷分布の補正処理を行ったので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 522 Kバイト

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