Co85-(x+y)Zr3+xNb12+y膜における高周波磁気特性のZrおよびNb組成による変化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-146

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Change in high frequency magnetic properties of Co85-(x+y)Zr3+xNb12+y films with Zr and Nb concentrations

著者名: 遠藤 恭(東北大学),伊藤 哲夫(東北大学),島田 寛(東北大学),山口 正洋(東北大学)

著者名(英語): Yasushi Endo(Tohoku University),Tetsuo Ito(Tohoku University),Yutaka Shimada(Tohoku University),Masahiro Yamaguchi(Tohoku University)

キーワード: Co-Zr-Nb膜|高周波磁気特性|軟磁性薄膜|強磁性共鳴|透磁率特性

要約(日本語): 近年，高周波磁気デバイスの動作周波数がGHz帯に到達するようになり，高透磁率かつGHz帯の強磁性共鳴（Ferromagnetic resonance：FMR）周波数を有する軟磁性材料が注目を集めている。なかでも，Co85Zr3Nb12 (Co-Zr-Nb) アモルファス膜はこれらの特長に加えて高飽和磁化，低保磁力かつゼロ磁歪であることから，基礎物性およびデバイス応用の観点から広く研究されている。しかしながら，高透磁率，FMR周波数，ダンピング定数などの高周波磁気特性がZrおよびNb組成による変化に関しては，十分に理解されていない。本研究では，ZrおよびNb組成の異なるCo85-(x+y)Zr3+xNb12+yアモルファス膜の高周波磁気特性を評価し，これらの膜における高周波磁気特性のZrおよびNb組成による変化について議論した。

原稿種別: 日本語

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