誘電泳動集積法よりZnOナノ粒子修飾したカーボンナノチューブガスセンサの二酸化窒素検出特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-077

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Detection Characteristic for Nitrogen Dioxide Using ZnO-decorated Carbon Nanotube Gas Sensor by Dielectrophoresis

著者名: 熊 暁(九州大学),村崎 慎哉(九州大学),井上 翔太(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Xiao Xiong(Kyushu University),Shinya Murasaki(Kyushu University),Shota Inoue(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: ガスセンサ|誘電泳動|カーボンナノチューブ

要約(日本語): 本研究では、誘電泳動集積法によりZnOナノ粒子修飾CNTガスセンサを作製し、従来報告例のない高速な二酸化窒素応答を確認したので報告する。本研究では得られた応答は、CNT単体を用いた応答と異なる（極小値を持つ、応答速度が非常に速い）応答を示した。修飾するZnOナノ粒子量によって二酸化窒素に対する応答量に違いが見られた。また、CNTのオゾン処理により表面欠陥を増やすことで、さらに感度を向上させることに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 706 Kバイト