人工視覚用高性能電極の開発に向けた基礎検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-094

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Basic Study of High Performance Electrodes for Retinal Prosthesis

著者名: 林 恵(奈良先端科学技術大学院大学),野田 佳子(奈良先端科学技術大学院大学),野田 俊彦(奈良先端科学技術大学院大学),竹原 宏明(奈良先端科学技術大学院大学),笹川 清隆(奈良先端科学技術大学院大学),徳田 崇(奈良先端科学技術大学院大学),Chung-Yu Wu(National Chiao Tung University),太田 淳(奈良先端科学技術大学院大学)

著者名(英語): Megumi Hayashi(Nara Institute of Science and Technology),Yoshiko Noda(Nara Institute of Science and Technology),Toshihiko Noda(Nara Institute of Science and Technology),Hiroaki Takehara(Nara Institute of Science and Technology),Kiyotaka Sasagawa(Nara Institute of Science and Technology),Takashi Tokuda(Nara Institute of Science and Technology),Chung-Yu Wu(National Chiao Tung University),Jun Ohta(Nara Institute of Science and Technology)

キーワード: 人工視覚|高性能電極

要約(日本語): 網膜を電気刺激して視覚を再建する人工視覚システムは患者への適用が始まっている。次世代の人工視覚では解像度の向上のため、刺激電極の微細化が急務である。しかし電極の表面積の減少分だけ電荷注入能力の低下が懸念される。電荷注入能力を維持する方法として高性能電極材料の適用が検討されているが、微細化した電極サイズでの性能評価は未だなされていない。 そこで各電極に外部端子が接続された電極評価用チップを設計した。また、高い電荷注入能力が期待できるIrOxを電極材料としてスパッタリングを用いて成膜し、リフトオフプロセスによりパターニングした。成膜条件を最適化することでリフトオフプロセスによるIrOxのパターニングに成功した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 310 Kバイト