圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサの高感度化撓み構造のための圧電薄膜応力制御

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-111

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Intrinsic Stress Control of Piezoelectric Films for Highly-Sensitive Buckling Structures of Ultrasonic Microsensors

著者名: 荒井 開人(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),田中 光(京都工芸繊維大学),西海 太貴(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Kaito Arai(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Hikaru Tanaka(Kyoto Institute of Technology),Taiki Nishiumi(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|ダイアフラム|座屈|感度|PZT|応力

要約(日本語): 空中超音波による三次元計測用の圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサの開発を行っている。これまでダイアフラムの座屈形状が感度に大きな影響を与えることを示してきており，高感度側へ自動的に座屈させるための製造プロセスを開発してきている。今回圧電体PZT薄膜をゾル・ゲル法により作製する際，作製条件を変えることによりPZT薄膜の応力を制御し，高感度化座屈構造を実現することを試みた。その結果，ゾル・ゲル製膜法の仮焼成温度を適切に設定することにより結晶化後のPZT薄膜の応力を制御できることが示され，座屈方向を100%高感度化方向へ制御し十分な座屈撓み量が得られる条件を見出した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 371 Kバイト