P(VDF/TrFE)を用いたMEMS超音波センサの特性改善

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-112

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Improvement of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者名: 田中 恒久(大阪府立産業技術総合研究所),村上 修一(大阪府立産業技術総合研究所),宇野 真由美(大阪府立産業技術総合研究所),山下 馨(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka(Technology Research Institute of Osaka),Shuichi Murakami(Technology Research Institute of Osaka),Mayumi Uno(Technology Research Institute of Osaka),Yamashita Kaoru(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: センサ|超音波|P(VDF/TrFE)|圧電|MEMS

要約(日本語): お掃除ロボットや自動搬送ロボット等の自律移動ロボットの普及が進み、安全装置として衝突防止装置の必要性が高まっている。衝突防止装置用に小型の超音波センサを、MEMS技術を用いて開発している。今回、受信特性の改善のためにMEMS超音波センサのダイアフラム構造の最適化設計、試作実験、特性評価を行った。改良した部分は、ダイアフラム部の残留応力の低減、ダイアフラム部の薄膜化である。作製したセンサの受信感度は－８２ｄＢＶ、共振周波数が８６．７ｋＨｚ、Ｑ値が９である。昨年度の全国大会発表と比較して、受信感度が約２倍向上した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 466 Kバイト