MEMS硬さセンサにおける基準面構造による押し当て荷重依存性低減効果の検証

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-114

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Verification of decreasing effect in force dependency by using reference plane in the MEMS hardness sensor

著者名: 前田 祐作(香川大学),寺尾 京平(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

著者名(英語): Yusaku Maeda(Kagawa University),Kyohei Terao(Kagawa University),Takaaki Suzuki(Kagawa University),Fusao Shimokawa(Kagawa University),Hidekuni Takao(Kagawa University)

キーワード: 触覚センサ|硬さ|内視鏡手術|基準面

要約(日本語): 臓器や皮膚などにおける，生体組織の硬さは，医療分野においては病変部位の判別等に，重要な情報である。しかし，内視鏡手術においては，接触荷重などの測定条件を任意に制御できず，患部の硬さを得ることが困難である。一方で我々は，基準面構造によって，押し当て荷重が不安定な環境下においても硬さ検出が可能な，硬さセンサの開発を行ってきた。本研究では，基準面を有したデバイス構造による押し当て荷重依存性の低減効果について報告する。評価に使用した2.4mm角のセンサチップにおいては，モデルでは余剰荷重に対する信号変化を2.5%に低減可能となる。実験結果においては，この変化が0.4%?11.6%となっており，計測誤差を含んでいるものの，基準面による荷重依存性低減効果を確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 502 Kバイト