静電型エナジーハーベスタ高出力化のためのフリンジ効果を考慮した静電容量解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-116

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Analysis of Capacitance Change with Fringing Effect for Structural Optimization of Electrostatic Energy Harvester.

著者名: 三輪谷 直輝(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),園田 晃司(兵庫県立大学),南 啓大(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Naoki Miwatani(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Koji Sonoda(University of Hyogo),Keidai Minami(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|エレクトレット|フリンジ効果|最適化|エナジーバーベスタ|近似式

要約(日本語): 本研究室ではエレクトレットを用いた静電型エナジーバーベスタを作製している。静電型エナジーバーベスタの発電量向上のためにはエレクトレット電極を配置する電極ピッチや対向電極幅，エアギャップといった構造のパラメータを最適化する必要があるが、静電型エナジーハーベスタのような大振幅で位置が変化する電極のフリンジ効果に関する理論式は確立されていない。そこで本研究では，静電型エナジーハーベスタの電極ピッチとエアギャップを決めたときの，最適な対向電極幅とフリンジ容量を考慮した静電容量の近似式を導出した。作成した近似式を用いて，エアギャップを決めてマスに一定の振幅，共振周波数を与えたとき発電電力が最大となる構造を求めた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 513 Kバイト