FePd磁歪膜を有するSi片持ち梁を用いた共振子の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-124

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Study on Resonators Using a Silicon Cantilever Beam with FePd magnetostrictive Layer

著者名: 末澤 航一(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): koichi Suezawa(Chiba Institute of Technology),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 共振形センサ|FePd磁歪膜|片持ち梁|SOI-MEMS

要約(日本語): 現在開発されている高感度磁気センサにはGMRやMIなどがあるが、ダイナミックレンジが十分とは言えず、一方磁歪膜を用いた磁気センサは広いダイナミックレンジをもち、高感度センサとしての可能性があり、注目されている。本研究では、磁歪材料としてスパッタによる薄膜形成が可能なFePdを用いた共振形磁気センサを実現すべく、FePd/Si片持ち梁共振子の周波数特性評価を行った。評価はコイルの中に共振子を入れ、DC/AC磁界を印加させることにより共振子を駆動し、その時のピエゾ抵抗の抵抗値変化をブリッジ出力電圧として測定した。DC磁界の値を上げていくと共振周波数は5kHz?13KHzへと徐々に高くなっていき、DC磁界による大幅な共振周波数変化を確認することができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 353 Kバイト