マイクロヒータの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Development of Micro Heater

著者名: 山岡 英彦(地方東京都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Hidehiko Yamaoka(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)

キーワード: マイクロヒータ|中空構造|白金電極|アンカー

要約(日本語): マイクロヒータは，ガスセンサ，湿度センサ，フローセンサ，湿度センサ等の様々なセンサに応用されている．同時に各種センサでは，小型化，低消費電力化，高速応答性が求めれており，この課題を解決する為に，MEMS技術を用いた微細なヒータが開発，製品化されてきた．しかし，その構造は複雑で，且つセンサ素子作製プロセスは，半導体工程を基本としているため，中小企業がMEMS技術に参入するには障壁が高い．本研究では，フォトリソ工程やスパッタ工程等の初期投資及びランニングコストの高い工程を極力少なくすることで，低コスト化を考慮しつつ，低消費電力，高耐久性のマイクロヒータデバイスを作製可能な構造およびプロセスの開発を行った．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 237 Kバイト