誘電泳動集積法により作製したZnOナノワイヤセンサのアセチレンガス検出特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 5-066

グループ名: 【全国大会】平成27年電気学会全国大会論文集

発行日: 2015/03/05

タイトル(英語): Dielectrophoretic fabrication of ZnO nanowire-based gas sensor and its acetylene detection property

著者名: 川邊 祐貴(九州大学),李 栗(九州大学),林 大貴(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Yuki Kawabe(Kyushu University),Li Li(Kyushu University),Hiroki Hayashi(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: ガスセンサ|酸化亜鉛ナノワイヤ|アセチレン|誘電泳動|白金ナノ粒子|変圧器

要約(日本語): 油入変圧器の長期運用によって内部に熱的、電気的な負荷がかかると、絶縁油や絶縁紙が分解され、炭化水素系ガスが発生する。このうち、特にアセチレンは、変圧器油中ガス分析の際の指標ガスとして広く用いられる。近年、アセチレンを検出するためのデバイスとして、酸化亜鉛(ZnO)を用いたガスセンサが注目されている。我々はZnOナノワイヤを誘電泳動力により電極間に集積させるセンサ作製法を新たに提案し、実際に作製したセンサを用いてアセチレンガスの検出に成功した。また、ZnO表面に触媒として白金ナノ粒子を修飾することで、さらなる感度の向上が確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 508 Kバイト