ダイヤモンドライクカーボン成膜用低圧高周波炭化水素プラズマのシミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-054

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Simulation of Low-Pressure and Radio-Frequency Hydrocarbon Plasmas for Deposition of Diamond-Like Carbon Films

著者名: 大木 一真(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Kazuma Ohki(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: プラズマ,ダイヤモンドライクカーボン,シミュレーション

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は、高硬度、低摩擦性、耐摩耗性などの特性を有するため、自動車部品の摺動部のコーティングなど幅広い分野で利用されている。その際、プラズマCVD法によるDLC成膜は、成膜源である炭化水素イオンやラジカルを効率よく生成でき、比較的低い温度で成膜可能である。これまで、我々のグループでは、本方法の最適化を目的としてDLC成膜源である炭化水素プラズマの基礎特性を空間一次元流体モデルにより解析してきた。本報告では、上記モデルを空間二次元へ拡張を行い、より現実的な系で炭化水素プラズマの解析を行ったので、その結果に関して報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 322 Kバイト