ガラス上および空気中のマイクロギャップにおける絶縁破壊電圧特性の比較

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-068

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Characteristic of breakdown voltage between electrodes with micro meter gap on glass barrier and in air

著者名: 谷 直樹(兵庫県立大学),上野 秀樹(兵庫県立大学),岡田 翔(兵庫県立大学)

著者名(英語): Naoki Tani(University Of Hyogo),Hideki Ueno(University Of Hyogo),Sho Okada(University Of Hyogo)

キーワード: マイクロギャップ,沿面放電,気中放電

要約(日本語): 近年、微細加工技術の発展に伴い電子機器の高集積化が進んでいる。それにより微小ギャップにおいて発生するESD(静電気放電)による機器の故障が問題とされており、微小ギャップにおける絶縁破壊特性の解明、機器をESD から保護する対策部品の開発が求められている。本研究ではマイクロギャップにおけるガラス上および空気中ギャップの絶縁破壊電圧特性の差異を調査した。その結果、BDV-L特性はガラス上ギャップおよび気中ギャップともにギャップ長50?100 ?mを境に特性の傾きが変化した。ギャップ長50 ?m以内では、両者同じ傾向を示した。100 ?m以降からガラス上ギャップには一定の値をとる傾向、気中ギャップには緩やかな増加傾向が見られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 371 Kバイト