短電圧パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマによる高分子表面処理

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-084

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Polymer Surface Treatment by Narrow-gap, Atmospheric-pressure Non-equilibrium Plasma Generated Using Short Voltage Pulses

著者名: 門脇 俊輔(防衛大学校),中野 俊樹(防衛大学校),北嶋 武(防衛大学校)

著者名(英語): Syunsuke Kadowaki(National Defense Academy),Toshiki Nakano(National Defense Academy),Takeshi Kitajima(National Defense Academy)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマ,短パルス電圧,表面処理,狭ギャップ電極

要約(日本語): 狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマの生成では、電極表面とプラズマの接触面積に対するプラズマ体積の比が大きく、電極とプラズマの相互作用を利用して化学反応性の強いプラズマを生成できる可能性がある。本研究では、間隔5?10μmの狭ギャップ電極系に短電圧パルスを印加して大気圧非平衡プラズマを生成し、それをポリエチレンテレフタレート（PET）の表面に照射することによって表面を酸化させた。プラズマ処理したPETの表面状態をX線光電子分光法（XPS）で分析し、本研究で生成したプラズマをPET表面酸化プロセスへ適用した場合の有効性を確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 421 Kバイト