大気圧低温プラズマによるDLC薄膜の除去

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-100

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Removal of Diamond-like Carbon Film by Atmospheric-Pressure Low-Temperature Plasma

著者名: 佐原 純輝(日本大学),三本 明子(日本大学),田中 郁行(日本大学),石川 有宰(日本大学),森本 康平(日本大学),浅井 朋彦(日本大学),平塚 傑工(ナノテック)

著者名(英語): Junki Sahara(Nihon University),Meiko Mimoto(Nihon University),Fumiyuki Tanaka(Nihon University),Yusai Ishikawa(Nihon University),Kohei Morimoto(Nihon University),Tomohiko Asai(Nihon University),Masanori Hiratsuka(Nanotec)

キーワード: 大気圧プラズマ,DLC

要約(日本語): ダイヤモンドライクカーボン（DLC）は，高硬度，耐摩耗性などの優れた特徴を持ち，幅広い分野で応用されている．一方，基材の再利用やDLCの微細加工などを行うためには，生成されたDLC膜の除去が必要となるが，従来の手法では，処理時間や装置コストなどが問題となっている．上記の課題を解決する手法として大気圧低温プラズマによる酸素ラジカルの生成に着目し，除膜法としての開発を進めている．ガス流量1.00L/minのArガスに低周波高電圧（20kHz，9kV）を印加して生成したLFプラズマジェットを，90秒間DLC膜に照射した結果，照射領域において，炭素質量濃度が著しく低下していることが確認でき，本手法によって DLCが除膜されることが確かめられた．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 359 Kバイト