負極性マイクロギャップ放電に与える誘電体表面の二次電子放出の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-118

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Effect of secondary electron emission on breakdown phenomena across micometer-scale gap under negative voltage

著者名: 岩渕 大行(横浜国立大学),中森 昌紀(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),日高 邦彦(東京大学)

著者名(英語): Hiroyuki Iwabuchi(Yokohama National University),Masaki Nakamori(The University of Tokyo),Akiko Kumada(The University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(The University of Tokyo)

キーワード: 沿面放電,マイクロギャップ,シミュレーション,二次電子放出

要約(日本語): 近年の微細加工技術の発達に伴い、気体中や誘電体表面の微小ギャップにおける絶縁破壊現象が大きな問題とされるようになった。特にマイクロアクチュエータに代表されるようなトルク出力が要求されるMEMSデバイスでは、出力が電界強度によって決定されるため、μm?nmオーダのギャップ間の絶縁の把握が重要な鍵となる。しかしながら、マイクロギャップ間における放電現象には未解明な点が多く残されている。著者らはSiO2基板上に作成した微小沿面ギャップにおける放電機構を、実験とシミュレーションの両面から明らかにする研究を行ってきた。本論文では、マイクロギャップ放電におけるSiO2表面での二次電子放出係数の影響をシミュレーションにより検証したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 230 Kバイト