分極反転時の疲労軽減を目指した強誘電体(Bi-Ti-O, KNO3)薄膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-068

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Production of Ferroelectric Thin Film(Bi-Ti-O, KNO3) for Fatigue Reduction at The Polarization Reversal

著者名: 小野 郁朗(福島工業高等専門学校),青木 亮太(福島工業高等専門学校),濱崎 真一(福島工業高等専門学校),豊島 晋(福島工業高等専門学校),磯上 慎二(福島工業高等専門学校),谷山 智康(東京工業大学)

著者名(英語): Ikuro Ono(National Institute of Technology, Fukushima College),Ryota Aoki(National Institute of Technology, Fukushima College),Sin-ichi Hamazaki(National Institute of Technology, Fukushima College),Susumu Toyoshima(National Institute of Technology, Fukushima College),Shinji Isogami(National Institute of Technology, Fukushima College),Tomoyasu Taniyama(Tokyo Insitute of Technology, Materials & Structures Lab.)

キーワード: 強誘電体,複合機能性薄膜,RFマグネトロンスパッタリング法,ディップコート法,圧電応答顕微鏡,誘電率

要約(日本語): 強誘電体薄膜をメモリ材料等に応用する際、分極反転により材料が疲労するという問題がある。材料が疲労する原因は分極反転時の構造変位によるものが大きいが、そこで分極反転時に構造変位が小さいチタン酸ビスマス(Bi4Ti3O12)と秩序-無秩序型であるため構造変位が小さい硝酸カリウム（KNO3）に注目し成膜を行った。チタン酸ビスマスについてはRFマグネトロンスパッタリング法を用いて製作し、圧電応答顕微鏡を用いて局所的な強誘電性の評価を行ったところ、強誘電性が示唆される結果が得られた。硝酸カリウムについてはディップコート法で成膜した。誘電率の温度依存性を測定した結果、相転移に伴う誘電率の変化が確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 385 Kバイト