電極材料の仕事関数計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-069

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Measurement of work function of aluminium,tungsten and titan

著者名: 中森 昌紀(東京大学),熊田 亜紀子(東京大学),日髙 邦彦(東京大学),岩渕 大行(横浜国立大学),鈴木 鼓太郎(東京都市大学),矢部 謙治(東京都市大学),三宅 弘晃(東京都市大学),田中 康寛(東京都市大学)

著者名(英語): Masaki Nakamori(University of Tokyo),Akiko Kumada(University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(University of Tokyo),Hiroyuki Iwabuchi(Yokohama National University),Kotaro Suzuki(Tokyo City University),Kenji Yabe(Tokyo City University),Hiroaki Miyake(Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka(Tokyo City University)

キーワード: 仕事関数,光電子

要約(日本語): マイクロギャップにおける放電を議論する場合、電極材料の文献値を用いて種々の値を計算し、実験値と比較して議論されることが多い。しかし、大気に触れた状態で保存された電極材料やウェハは酸化等により物性に変化が起こっていると考えられる。そこで実際の実験における電極材料やウェハの物性の変化を考慮に入れるため、常温・大気中で保管されたウェハ上の電極における仕事関数の計測を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 236 Kバイト