DLCおよびAu自立薄膜への高強度レーザ照射

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-084

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): High-Intensity Laser Irradiation to Self-Standing DLC and Au Films

著者名: 針谷 達(豊橋技術科学大学),宮本 優(豊橋技術科学大学),山野 将史(豊橋技術科学大学),須田 善行(豊橋技術科学大学),滝川 浩史(豊橋技術科学大学),河野 剛士(豊橋技術科学大学),神谷 雅男(伊藤光学工業),瀧 真(オンワード技研),長谷川 祐史(オンワード技研),辻 信広(オンワード技研)

著者名(英語): Toru Harigai(Toyohashi University of Technology),Yu Miyamoto(Toyohashi University of Technology),Masafumi Yamano(Toyohashi University of Technology),Yoshiyuki Suda(Toyohashi University of Technology),Hirofumi Takikawa(Toyohashi University of Technology),Takeshi Kawano(Toyohashi University of Technology),Masao Kamiya(Itoh Optical Industrial Co., LTD.),Makoto Taki(Onward Ceramic Coating Co., LTD.),Yushi Hasegawa(Onward Ceramic Coating Co., LTD.),Nobuhiro Tsuji(Onward Ceramic Coating Co., LTD.)

キーワード: ダイヤモンドライクカーボン,自立薄膜,薄膜ターゲット,レーザ照射,犠牲層

要約(日本語): レーザ駆動型イオン加速法に必要な自立薄膜ターゲットとして，ダイヤモンドライクカーボン（DLC）薄膜やAu薄膜が期待されている。しかし，DLC薄膜は単独膜としては形成できず，基板上形成後に自立化するプロセスが必要となる。本研究では，シルクフィブロインを犠牲層としたDLC薄膜の自立化プロセスを開発し，自立薄膜へ高強度レーザ照射を行い，薄膜ターゲットとしての可能性を評価した。自立Au薄膜へも同様にレーザ照射を行った。膜厚15nmの自立DLC薄膜では，レーザ照射に対して十分な膜強度を示さず，レーザは貫通した。自立Au薄膜では，厚膜ほど高い耐性を示した。DLCをターゲットとするには，より厚いDLC膜を自立化する必要がある。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 350 Kバイト