レーザアニールによるダイヤモンド状炭素の電気，光学的特性改善

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-085

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Electrical and optical properties improvement of Diamond-Like-Carbon by Laser Annealing

著者名: 渡邉 学(日本大学),大野 貴史(日本大学),胡桃 聡(日本大学),松田 健一(日本大学),鈴木 薫(日本大学)

著者名(英語): Gaku Watanabe(Nihon University),Takafumi Ohno(Nihon University),Satoshi Kurumi(Nihon University),Ken-ichi Matsuda(Nihon University),Kaoru Suzuki(Nihon University)

キーワード: 太陽電池,ダイヤモンド状炭素,レーザアニール

要約(日本語): DLC薄膜はレーザアニールによりダイヤモンド化することが期待されていることから，我々はDLC薄膜のバンドギャップ0.8?3.3 eVからダイヤモンドの5.6 eVまでレーザの照射条件によって制御できるのではないかと考えている。本稿ではDLC薄膜の電気，光学的特性を改善するために，DLC薄膜に対しレーザアニール処理を行い，アニール処理後のDLC薄膜の特性改善を実験的に検討した。DLC薄膜はイオン化蒸着法により成膜され，Nd:YAGレーザ（波長 355 nm，パワー密度 3.0W/cm-1）でアニール処理を行った。顕微ラマン分光測定結果により成膜後のD-peakとG-peakの強度比ID/IG は0.29であり，アニール後はID/IG = 0.75と確認できた。このことから，レーザアニールによってDLC薄膜中のダイヤモンドが支配的となることが確認された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 230 Kバイト