PLD法を用いガラス基板上に作製したPr-Fe-B系磁石膜の磁気特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-104

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Magnetic properties of PLD-fabricated Pr-Fe-B film magnets deposited on glass substrates

著者名: 廣瀧 敬士(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),藤原 良元(東京工業大学),進士 忠彦(東京工業大学)

著者名(英語): Keishi Hirotaki(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University),Ryogen Fujiwara(Tokyo Institute of Technology),Tadahiko Shinshi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 厚膜磁石,PLD法,ガラス基板,保磁力,Pr-Fe-B系磁石

要約(日本語): MEMSへの磁石膜応用を鑑み，スパッタリング法を中心として金属以外の基板への磁石膜の成膜が報告されている。しかしながら上記のものは，(1)厚みが20 μm程度にとどまっており，外部へ十分な磁界を供給するには，更なる厚膜化が望まれる，(2)Ta下地層を用いており，微細加工時に問題を生じさせる等，改善すべき点が見られる。そこで，本研究ではPLD法を用い，Pr-Fe-B系磁石膜を下地層なしのテンパックスガラス基板上へ成膜する手法を試みた。その際，希土類含有量を化学量論組成より増加・減少させた幅広い組成領域で制御し，100 μmまでの厚膜化を実現したので，その磁気特性を中心に報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 328 Kバイト