微小磁性金属異物検出における通過位置推定手法の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-118

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Examination of the position estimation method for a small contaminant detection

著者名: 都筑 裕汰郎(滋賀県立大学),作田 健(滋賀県立大学),大橋 正治(滋賀県立大学)

著者名(英語): Yutaro Tsuzuki(The University of Shiga Prefecture),Ken Sakuta(The University of Shiga Prefecture),Masaharu Ohashi(The University of Shiga Prefecture)

キーワード: 位置推定,磁性金属異物,交流励磁,ユークリッド距離

要約(日本語): 異物検出において,異物の具体的な位置情報が得られれば異物の発生経路の推定に役立つ。また,電子材料では微小な金属異物混入が機器の誤動作の原因となる。そこで本研究では,磁性金属異物を対象とし,交流励磁法により生じる異物信号を高感度な磁気センサ(SQUID等)を用いて観測することで,センサの機械的な動作がなく,非破壊・非接触で微小な磁性金属異物の通過位置を推定する手法の検討を行う。本手法では, 磁気センサで観測した異物信号波形と通過位置毎の波形をリファレンスとしてパターンマッチングを行い,最も近いリファレンスを特定することで異物の通過位置の推定を行う。類似度には値が小さいほど類似の度合いが強いことを示すユークリッド距離を用いる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 271 Kバイト