P(VDF/TrFE)を用いたMEMS超音波センサの共振周波数特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-121

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Resonance Frequency Property of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者名: 田中 恒久(大阪府立産業技術総合研究所),村上 修一(大阪府立産業技術総合研究所),宇野 真由美(大阪府立産業技術総合研究所),山下 馨(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tanaka Tsunehisa(Technology Research Institute),Murakami Shuichi(Technology Research Institute),Uno Mayumi(Technology Research Institute),Yamashita Kaoru(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 共振周波数,超音波センサ,MEMS

要約(日本語): P(VDF/TrFE)を用いたMEMS超音波センサのセンサ形状と共振周波数の関係を，試作実験を行い考察した。円形型センサのダイアフラム直径は0.54 mmから1.06 mmまで作製した。ダイアフラム直径が0.64 mmから0.75 mmまでは共振周波数の実測値と計算値がほぼ一致した。ダイアフラム直径が0.54 mmと 0.86 mm以上では実測値が計算値より小さくなった。この原因の一つには残留応力の影響が考えられる。今回の試作実験により得られたセンサの共振周波数とダイアフラム直径との関係を用いて，任意の共振周波数のセンサを設計することがある程度可能と思われる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 427 Kバイト