全方向走査のためのウエハ接合を用いた二軸静電駆動マイクロミラー

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-132

グループ名: 【全国大会】平成28年電気学会全国大会論文集

発行日: 2016/03/05

タイトル(英語): Two-Axis Electrostatic Micromirror Using Wafer Bonding for Omnidirectional Scanning

著者名: 佐藤 克哉(東北大学),佐々木 敬(東北大学),羽根 一博(東北大学)

著者名(英語): Katsuya Sato(Tohoku University),Takashi Sasaki(Tohoku University),Kazuhiro Hane(Tohoku University)

キーワード: MEMS,マイクロミラー,全方向走査,LIDAR,接合

要約(日本語): 近年、自動車の衝突防止や自動運転を目的とした運転支援システムが注目されている。車両の周囲の情報を得るために、夜間の使用や距離の測定が可能な光学式センサは有用である。光学式センサの中でも、専用のレンズを用いて360度全方向にレーザを走査可能なスキャナが報告されており、x軸とy軸の共振周波数が等しい二軸のマイクロミラーが必要である。本研究では、ウエハ接合を用いた二軸の静電駆動マイクロミラーを設計し、考案したプロセスによってデバイスの製作に成功した。駆動試験の結果、直交する2つの振動モードが現れた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 595 Kバイト